Optimization of 950K PMMA resists for Nano-application using Statistical Design Expert
Access is limited to UniMAP community.
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Khoo Chien Chin |
---|---|
مؤلفون آخرون: | Uda Hashim, P.M. Dr. (Advisor) |
التنسيق: | Learning Object |
اللغة: | English |
منشور في: |
Universiti Malaysia Perlis
2008
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/2390 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
PMMA characterization and optimization for Nano Structure formation
بواسطة: S Niza, Mohammad Bajuri, وآخرون
منشور في: (2009) -
Nano patterning of cone dots and nano constrictions of negative e-beam resist for single electron transistor fabrication
بواسطة: Sutikno, Madnasri, وآخرون
منشور في: (2009) -
Fabrication of nano and micrometer structures using electron beam and optical mixed lithography process
بواسطة: Abd Rahman, S. F., وآخرون
منشور في: (2016) -
Effect of alignment mark architecture on alignment signal behavior in advanced lithography
بواسطة: Normah, Ahmad, وآخرون
منشور في: (2009) -
Nanowire formation using electron beam lithography
بواسطة: Rahman, S. F. A., وآخرون
منشور في: (2010)