Influence of argon/nitrogen sputtering gas and molybdenum/titanium seed layer on aluminium nitride ⟨100⟩ thin film growth using ceramic target
Aluminium nitride (AlN) can be sputter-deposited onto a substrate to form polycrystalline or single crystal AlN thin film layer. Highly crystalline AlN in ⟨100⟩ orientation has found its application in high-frequency acoustic wave resonators. The research work to investigate AlN ⟨100⟩ crystal growth...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| منشور في: |
Elsevier
2024
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.um.edu.my/44756/ https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2024.01.286 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|