Material selection for CMOS compatible high Q and high frequency MEMS disk resonator using Ashby approach
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| 主要な著者: | , , , |
|---|---|
| フォーマット: | 論文 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Universiti Malaysia Perlis
2017
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://dspace.unimap.edu.my:80/xmlui/handle/123456789/49198 |
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