その他の書誌記述: Investigation of surface roughness on platinum deposited wafer after reactive ion etching using SF₆+Argon gaseous

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書誌詳細
主要な著者:	Zaliman, Sauli, Dr., Retnasamy, Vithyacharan, Aaron, Koay Terr Yeow, Siew Chui, Goh, Khairul Anwar, Mohamad Khazali, Nooraihan, Abdullah
その他の著者:	zaliman@unimap.edu.my
フォーマット:	論文
言語:	English
出版事項:	Trans Tech Publications 2014
主題:	DOE Platinum Reactive Ion Etching (RIE) SF₆+Argon Surface roughness
オンライン･アクセス:	http://dspace.unimap.edu.my:80/dspace/handle/123456789/33656
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