Fabrication of silicon nanowires by electron beam lithography and thermal oxidation size reduction method

• المؤلفون الرئيسيون: Mohammad Nuzaihan, Md Nor, Uda, Hashim, Prof. Dr., Nazwa, Taib, Tijjani Adam, Shuwa
• مؤلفون آخرون: [e-mail]
• التنسيق: مقال
• اللغة: English
• منشور في: Trans Tech Publications 2014
• الموضوعات: Advance nanolithography; Atomic force microscopy (AFM); BOE; EBL; Inductively coupled plasma-reactive ion etching; ma-N2400 negative resist; Silicon nanowire; Size-reduction; Thermal oxidation
• الوصول للمادة أونلاين: http://dspace.unimap.edu.my:80/dspace/handle/123456789/33553

Link to publisher's homepage at http://www.ttp.net/