その他の書誌記述: Fabrication of silicon nanowires by electron beam lithography and thermal oxidation size reduction method

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書誌詳細
主要な著者:	Mohammad Nuzaihan, Md Nor, Uda, Hashim, Prof. Dr., Nazwa, Taib, Tijjani Adam, Shuwa
その他の著者:	m.nuzaihan@unimap.edu.my
フォーマット:	論文
言語:	English
出版事項:	Trans Tech Publications 2014
主題:	Advance nanolithography Atomic force microscopy (AFM) BOE EBL Inductively coupled plasma-reactive ion etching ma-N2400 negative resist Silicon nanowire Size-reduction Thermal oxidation
オンライン･アクセス:	http://dspace.unimap.edu.my:80/dspace/handle/123456789/33553
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