Design and simulation of high sensitive capacitive pressure sensor with slotted diaphragm

• المؤلفون الرئيسيون: M., Shahiri-Tabarestani, B. A., Ganji, R., Sabbaghi-Nadooshan
• مؤلفون آخرون: [e-mail]
• التنسيق: Working Paper
• اللغة: English
• منشور في: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) 2012
• الموضوعات: MEMS; Capacitive pressure sensor; Sensitivity; Slotted diaphragm
• الوصول للمادة أونلاين: http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/21393

Link to publisher's homepage at http://ieeexplore.ieee.org/