Cover Image

Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)

Link to publisher's homepage at http://www.unimap.edu.my/

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Uda, Hashim, Nik Hazura, Nik Hamat, Fauziyah, Salehuddin, Ibrahim, Ahmad, Sutikno Madnasri
Format: Article
Language:other
Published: Universiti Malaysia Perlis 2008
Subjects:
Simpangan cetek ultra
T-SUPREM4
Spin On Dopant (SOD)
Resapan
ULSI
Semiconductors
Semiconductors > Materials
Integrated circuits > Design and construction
Online Access:http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/2178
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id my.unimap-2178
record_format dspace
spelling my.unimap-21782009-08-13T08:52:46Z Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant) Uda, Hashim Nik Hazura, Nik Hamat Fauziyah, Salehuddin Ibrahim, Ahmad Sutikno Madnasri Simpangan cetek ultra T-SUPREM4 Spin On Dopant (SOD) Resapan ULSI Semiconductors Semiconductors -- Materials Integrated circuits -- Design and construction Link to publisher's homepage at http://www.unimap.edu.my/ Pembentukan simpangan cetek ultra merupakan suatu proses yang kritikal dalam fabrikasi peranti-peranti submikron bagi teknologi litar terkamil pada masa hadapan. Di dalam penulisan ini, simulasi proses pembentukan simpangan cetek ultra telah dilaksanakan menggunakan perisian ATHENA dan ATLAS yang terdapat di dalam pakej perisian Silvaco TCAD Tools. Dengan kelebihan tiada resapan bertingkat fana dan pencemaran logam, resapan daripada SOD (Spin On Dopant) terdop tinggi merupakansuatu teknologi yang sesuai bagi pembentukan simpangan cetek ultra. Proses resapan dari SOD disimulasikan seperti model simulasi resapan dari sumber terdop oksida. Fabrikasi diod juga turut disimulasikan bagi menganalisis ciri-ciri elektrik bagi simpangan ini. Keputusan yang diperoleh dipaparkan dalam gambarajah dua dimensi. Keputusan daripada proses simulasi mendapati simpangan cetek P+N berprestasi tinggi dalam kedalaman simpang iaitu 40nm diperoleh menggunakan resapan terma pantas B150 ke dalam silikon serta mempunyai ciri-ciri diod yang baik dengan ketumpatan arus bocor t=yang rendah iaitu0.5nA/cm2. Simpangan cetek dengan kedalaman kurang daripada 20nm turut diperolehi tetapi kualiti diod terjejas akibat arus permukaan bocor yang tinggi. 2008-09-12T04:17:57Z 2008-09-12T04:17:57Z 2006 Article Journal of Engineering Research and Education, vol. 3, 2006, pages 1-16. 1823-2981 http://hdl.handle.net/123456789/2178 http://www.unimap.edu.my/ other Universiti Malaysia Perlis
institution Universiti Malaysia Perlis
building UniMAP Library
collection Institutional Repository
continent Asia
country Malaysia
content_provider Universiti Malaysia Perlis
content_source UniMAP Library Digital Repository
url_provider http://dspace.unimap.edu.my/
language other
topic Simpangan cetek ultra
T-SUPREM4
Spin On Dopant (SOD)
Resapan
ULSI
Semiconductors
Semiconductors -- Materials
Integrated circuits -- Design and construction
spellingShingle Simpangan cetek ultra
T-SUPREM4
Spin On Dopant (SOD)
Resapan
ULSI
Semiconductors
Semiconductors -- Materials
Integrated circuits -- Design and construction
Uda, Hashim
Nik Hazura, Nik Hamat
Fauziyah, Salehuddin
Ibrahim, Ahmad
Sutikno Madnasri
Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
description Link to publisher's homepage at http://www.unimap.edu.my/
format Article
author Uda, Hashim
Nik Hazura, Nik Hamat
Fauziyah, Salehuddin
Ibrahim, Ahmad
Sutikno Madnasri
author_facet Uda, Hashim
Nik Hazura, Nik Hamat
Fauziyah, Salehuddin
Ibrahim, Ahmad
Sutikno Madnasri
author_sort Uda, Hashim
title Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
title_short Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
title_full Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
title_fullStr Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
title_full_unstemmed Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
title_sort simulasi fabrikasi simpangan cetek ultra menggunakan resapan dopan daripada sod (spin on dopant)
publisher Universiti Malaysia Perlis
publishDate 2008
url http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/2178
_version_ 1643787521217265664
score 13.214268

Similar Items