Effect of discharge power on the properties of GaN thin films on AlN-(002) prepared by magnetron sputtering deposition

• المؤلفون الرئيسيون: Muliana, Tahan, Nafarizal, Nayan, Siti Noraiza, Abd Razak, Anis Suhaili, Bakri, Zulkifli, Azman, Mohd Zainizan, Sahdan, Nur Amaliyana, Rahip, Ahmad Shuhaimi, Abu Bakar, Mohd Yazid, Ahmad
• مؤلفون آخرون: [e-mail]
• التنسيق: مقال
• اللغة: English
• منشور في: Universiti Malaysia Perlis (UniMAP) 2020
• الموضوعات: Magnetron sputtering plasma; GaN thin film; AlN thin film; Blue LED
• الوصول للمادة أونلاين: http://dspace.unimap.edu.my:80/xmlui/handle/123456789/67712

Link to publisher's homepage at http://ijneam.unimap.edu.my