صورة الغلاف

Surface roughness and wettability investigation of varied plasma parameter effect on PVD deposited aluminium

Surface metrology has been a focused and thoroughly investigated research niche since the advent of device fabrication. The current technology shift into MEMS and nano has again made surface metrology a focused area. Layer adhesion and bonding have surface metrology importance here. In this work, su...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Moganraj, Palianysamy
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
منشور في: Universiti Malaysia Perlis (UniMAP) 2014
الموضوعات:
Microelectronic engineering
Surface roughness
Surface metrology
Aluminium deposition
Surface Wettability
Physical Vapor Deposition (PVD)
الوصول للمادة أونلاين:http://dspace.unimap.edu.my:80/dspace/handle/123456789/31159
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

الانترنت

http://dspace.unimap.edu.my:80/dspace/handle/123456789/31159

مواد مشابهة