Pemilihan bahan kapsul kukuh bagi peranti MEMS di bawah tekanan tinggi / Yusnira Husaini, Ahmad Sabirin Zoolfakar and Mas Izyani Md. Ali

• Main Authors: Husaini, Yusnira, Zoolfakar, Ahmad Sabirin, Md. Ali, Mas Izyani
• Format: Research Reports
• Language: English
• Published: Institute of Research, Development and Commercialization (IRDC) 2009
• Subjects: Polymers. Macromolecules; Microelectromechanical systems
• Online Access: https://ir.uitm.edu.my/id/eprint/12654/2/12654.pdf; https://ir.uitm.edu.my/id/eprint/12654/

Kajian mengenai biasan pennukaan beberapa jenis bahan kapsul di bawah tekanan tegak sekata telah dijalankan bagi mendapat bahan terbaik bagi peranti MEMS. Kapsul diperlukan bagi melindungi bahagian yang boleh bergerak di dalam peranti MEMS sewaktu proses pembingkaian bertekanan tinggi dijalankan. Ba...