Cover Image

Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi

Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan de...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Nugroho, Cahyo Budi
Format: Thesis
Language:English
Published: 2010
Subjects:
TN1-997 Mining engineering. Metallurgy
Online Access:http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf
http://eprints.usm.my/41649/
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id my.usm.eprints.41649
record_format eprints
spelling my.usm.eprints.41649 http://eprints.usm.my/41649/ Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi Nugroho, Cahyo Budi TN1-997 Mining engineering. Metallurgy Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. 2010-04 Thesis NonPeerReviewed application/pdf en http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf Nugroho, Cahyo Budi (2010) Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi. Masters thesis, Universiti Sains Malaysia.
institution Universiti Sains Malaysia
building Hamzah Sendut Library
collection Institutional Repository
continent Asia
country Malaysia
content_provider Universiti Sains Malaysia
content_source USM Institutional Repository
url_provider http://eprints.usm.my/
language English
topic TN1-997 Mining engineering. Metallurgy
spellingShingle TN1-997 Mining engineering. Metallurgy
Nugroho, Cahyo Budi
Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
description Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon.
format Thesis
author Nugroho, Cahyo Budi
author_facet Nugroho, Cahyo Budi
author_sort Nugroho, Cahyo Budi
title Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_short Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_full Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_fullStr Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_full_unstemmed Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_sort pemeriksaan filem sio2 yang dienapkan di atas susbtrat si melalui teknik pirolisis semburan ultrabunyi
publishDate 2010
url http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf
http://eprints.usm.my/41649/
_version_ 1643710280110178304
score 13.18916

Similar Items