Nano patterning of cone dots and nano constrictions of negative e-beam resist for single electron transistor fabrication

• المؤلفون الرئيسيون: Sutikno, Madnasri, Uda, Hashim, Zul Azhar, Zahid Jamal
• التنسيق: مقال
• اللغة: English
• منشور في: Springer New York 2009
• الموضوعات: Transistors; Integrated circuits > Design and construction; e-beam; Lithography, Electron beam; Integrated circuits; Electron beams; Lithography
• الوصول للمادة أونلاين: http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/6694

Link to publisher's homepage at http://www.springerlink.com