Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)

Kajian ini dijalankan untuk membangunkan pandu gelombang optik menggunakan bahan fotopeka silika terdop fosforus. Teknik penyalutan mejam menggunakan sumber berbentuk cecair iaitu tetraetil ortosilikat, asid fosforik dan juga PBF untuk menghasilkan pandu gelombang fotopeka silika terdop fosforus dan...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan,, Hadi Guna,, Sahbudin Shaari,
Format: Article
Language:English
Published: Universiti Kebangsaan Malaysia 2012
Online Access:http://journalarticle.ukm.my/3236/1/13_Mohd_Syuhaimi.pdf
http://journalarticle.ukm.my/3236/
http://www.ukm.my/jsm/contents.html
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id my-ukm.journal.3236
record_format eprints
spelling my-ukm.journal.32362016-12-14T06:34:02Z http://journalarticle.ukm.my/3236/ Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication) Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan, Hadi Guna, Sahbudin Shaari, Kajian ini dijalankan untuk membangunkan pandu gelombang optik menggunakan bahan fotopeka silika terdop fosforus. Teknik penyalutan mejam menggunakan sumber berbentuk cecair iaitu tetraetil ortosilikat, asid fosforik dan juga PBF untuk menghasilkan pandu gelombang fotopeka silika terdop fosforus dan boron. Pada ketebalan antara 1 μm hingga 8 μm, modulasi indeks biasan yang ditunjukkan di dalam bahan fotopeka silika terdop fosforon-boron adala 1×10-14 pada ketebalan 3 μm hingga 8 μm. Semua ujian dan rawatan fotopeka dilakukan dengan menggunakan sumber UV 366 nm, 0.369 mW/cm2 pada kadar denyutan 50 Hz. Semua sampel menunjukkan penurunan nilai indeks di bawah dedahan ini. Tempoh dedahan yang diperlukan dengan menggunakan kuasa UV yang berkenaan adalah kira-kira 10 minit. Dengan menggunakan penyurih laser ArF atau KrF yang berkuasa 10 mW misalnya, tempoh dedahan yang diperlukan adalah cuma 20 hingga 30 saat untuk mengubah indeks biasan pandu gelombang. Selain daripada itu, proses pemampasan juga dimasukkan yang bertujuan untuk memperbetulkan semula prestasi akibat daripada kesan toleransi semasa proses simulasi. Bagi memberikan kecekapan dalam pengukuran indeks biasan dan ketebalan lapisan BPSG, satu program antara muka penggunaan grafik dibangunkan untuk mempercepatkan dan meningkatkan kejituan bacaan yang diukur daripada pengganding prisma manual. Universiti Kebangsaan Malaysia 2012-01 Article PeerReviewed application/pdf en http://journalarticle.ukm.my/3236/1/13_Mohd_Syuhaimi.pdf Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan, and Hadi Guna, and Sahbudin Shaari, (2012) Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication). Sains Malaysiana, 41 (1). pp. 111-120. ISSN 0126-6039 http://www.ukm.my/jsm/contents.html
institution Universiti Kebangsaan Malaysia
building Perpustakaan Tun Sri Lanang Library
collection Institutional Repository
continent Asia
country Malaysia
content_provider Universiti Kebangsaan Malaysia
content_source UKM Journal Article Repository
url_provider http://journalarticle.ukm.my/
language English
description Kajian ini dijalankan untuk membangunkan pandu gelombang optik menggunakan bahan fotopeka silika terdop fosforus. Teknik penyalutan mejam menggunakan sumber berbentuk cecair iaitu tetraetil ortosilikat, asid fosforik dan juga PBF untuk menghasilkan pandu gelombang fotopeka silika terdop fosforus dan boron. Pada ketebalan antara 1 μm hingga 8 μm, modulasi indeks biasan yang ditunjukkan di dalam bahan fotopeka silika terdop fosforon-boron adala 1×10-14 pada ketebalan 3 μm hingga 8 μm. Semua ujian dan rawatan fotopeka dilakukan dengan menggunakan sumber UV 366 nm, 0.369 mW/cm2 pada kadar denyutan 50 Hz. Semua sampel menunjukkan penurunan nilai indeks di bawah dedahan ini. Tempoh dedahan yang diperlukan dengan menggunakan kuasa UV yang berkenaan adalah kira-kira 10 minit. Dengan menggunakan penyurih laser ArF atau KrF yang berkuasa 10 mW misalnya, tempoh dedahan yang diperlukan adalah cuma 20 hingga 30 saat untuk mengubah indeks biasan pandu gelombang. Selain daripada itu, proses pemampasan juga dimasukkan yang bertujuan untuk memperbetulkan semula prestasi akibat daripada kesan toleransi semasa proses simulasi. Bagi memberikan kecekapan dalam pengukuran indeks biasan dan ketebalan lapisan BPSG, satu program antara muka penggunaan grafik dibangunkan untuk mempercepatkan dan meningkatkan kejituan bacaan yang diukur daripada pengganding prisma manual.
format Article
author Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan,
Hadi Guna,
Sahbudin Shaari,
spellingShingle Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan,
Hadi Guna,
Sahbudin Shaari,
Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
author_facet Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan,
Hadi Guna,
Sahbudin Shaari,
author_sort Mohd. Syuhaimi Ab-Rahan,
title Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
title_short Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
title_full Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
title_fullStr Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
title_full_unstemmed Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
title_sort pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)
publisher Universiti Kebangsaan Malaysia
publishDate 2012
url http://journalarticle.ukm.my/3236/1/13_Mohd_Syuhaimi.pdf
http://journalarticle.ukm.my/3236/
http://www.ukm.my/jsm/contents.html
_version_ 1643735656062517248
score 13.18916